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超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學(xué)試劑。為適應(yīng)一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的特殊需要而制備。一些對(duì)氣體要求特別純凈的部門，需要超純氣體的純度高達(dá)99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)小于三個(gè)。
品種用途
超純氣體的品種發(fā)展十分迅速，1981年單一超純氣體120多種，混合超純氣體12類約300多種。中國能生產(chǎn)單一超純氣體十多種，混合超純氣體幾十種。除表中所列主要品種外，單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等?；旌铣儦怏w為上述單一超純氣體的混合氣，分別有專門的用途，如純氬-氮混合氣用于電光源中鎢絲的還原,純氬-氖混合氣、氬-氦混合氣用于霓虹燈充氣等，還有不少超純混合氣體作為色譜、質(zhì)譜和光譜分析中的標(biāo)準(zhǔn)氣。
貯運(yùn)
對(duì)于超純氣體，任何微小的污染都會(huì)嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量，因此氣體貯存和運(yùn)輸過程中的潔凈和高度密封性特別重要。超純氣體主要采用高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器貯存和運(yùn)輸。高壓鋼瓶堅(jiān)實(shí)耐用，運(yùn)輸和使用靈活，氣體無損耗，但氣體純度穩(wěn)定性較差；低溫液化氣體容器單位容積貯量很大，但有氣體排放損耗。
