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成都興林真空設(shè)備有限公司

研發(fā)、銷(xiāo)售:真空設(shè)備、機(jī)電設(shè)備、機(jī)械設(shè)備。(法律及行政...

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C-43A型9寸光刻機(jī) 成都精密光刻機(jī)廠家
點(diǎn)擊圖片查看原圖
單價(jià):8.50萬(wàn) / 臺(tái)
品牌:興林真空
地區(qū):四川省成都市成華區(qū)
銷(xiāo)量:累計(jì)出售 0 件,0 個(gè)訂單
評(píng)價(jià):已有 0 條評(píng)價(jià)
庫(kù)存:還剩 9999
人氣:已有 16 人關(guān)注
更新:2022-07-12
詳細(xì)信息
主要用途
 
主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。
 
由于本機(jī)有特殊的找平機(jī)構(gòu),使本機(jī)不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光,而且也適用非圓形基片和小型基片的曝光。
 
工作方式
 
本機(jī)為一次性光刻曝光
 
主要技術(shù)指標(biāo)
 
1、配置一件承片臺(tái)(承片臺(tái)具體尺寸可根據(jù)用戶(hù)需求制造)
 
2、曝光頭(采用高均勻性多點(diǎn)光源曝光頭)
 
*出射光斑≤230mm;350W(高壓直流汞燈)
 
*光的不均勻性在φ230mm范圍內(nèi)≤±8%;
 
*實(shí)現(xiàn)真空密著條件下曝光。
 
*光的強(qiáng)度可通過(guò)X、Y、Z進(jìn)行調(diào)節(jié),曝光時(shí)間,通過(guò)0.1~999.9秒時(shí)間繼電器設(shè)定;
 
*汞燈位置調(diào)節(jié)可通過(guò)精密的x、y、z調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)量為x向±5毫米、y向±5毫米、z向±5毫米;
 
*具有風(fēng)扇冷卻裝置。
 
3、分辨率≥2μm 。
 
4、具備真空吸片功能。
 
5、具有真空密著和反吹氣的功能,通過(guò)調(diào)節(jié)密著真空的大小可以實(shí)現(xiàn)硬接觸曝光(密著真空≤-0.05 Mpa)、軟接觸曝光(密著真空在-0.05Mpa~-0.02Mpa之間)和微力接觸曝光(密著真空≥-0.02Mpa)。
 





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