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C-25X型單面光刻機(jī) 成都精密光刻機(jī)廠家

單價： ￥210000.00    元 / 臺

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累計評價
品牌 : 興林真空
銷量 : 累計出售 0 臺
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-成華區(qū)
有效期至 : 長期有效
數(shù)量 : 減少 增加臺 庫存9999臺
更新 : 2022-07-12
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公司基本資料信息
 
 主要用途 
 
⒈ 本機(jī)針對各大專院校、企業(yè)及科研單位，對光刻機(jī)使用特性研發(fā)的一種高精度光刻機(jī)。
 
⒉ 由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)先進(jìn)，找平力小、使本機(jī)不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片、
 
銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光，而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片
 
的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。
 
工作方式                                   
 
本機(jī)為單面對準(zhǔn)、單面曝光。
 
主要構(gòu)成
 
主要由高精度對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場CCD顯微鏡顯示系統(tǒng)、曝光頭、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式無油真空泵、防震工作臺和附件等組成。
 
主要功能特點(diǎn)
 
1.適用范圍廣
 
適用于Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光。
 
2.結(jié)構(gòu)先進(jìn)
 
具有半球式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)。
 
3.操作簡便
 
采用翻板方式取片、放片；按鈕、按鍵方式操作，可實(shí)現(xiàn)真空 吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能，操作、調(diào)試、維護(hù)、修理 都非常簡便。
 
4.可靠性高
 
采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時器；采用獨(dú)特的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件，使本機(jī)具有非常高的可靠性。
 
5.特設(shè)“碎片”處理功能
 
解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題。