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半導(dǎo)體MOCVD氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 9000

單價： ￥10000.00    元 / 件

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累計評價
品牌 : chinacryo
銷量 : 累計出售 0 件
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-郫縣
有效期至 : 長期有效
數(shù)量 : 減少 增加件 庫存10000件
更新 : 2021-12-13
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公司基本資料信息
 
 

MARU 9000是基于壓力傳感器的質(zhì)量流量控制器（PS MFC）；通過表面電解拋光處理，具有優(yōu)良的耐腐蝕性；MARU 9000通過壓力傳感器及數(shù)字控制回路的改善算法，速度、精度、重復(fù)性等功能提高，可適用于精密控制工藝的設(shè)備（如半導(dǎo)體MOCVD，ALD，平板顯示CVD,PVD，光伏行業(yè)CVD等）。

 

優(yōu)勢：

三星，海力士半導(dǎo)體認證MFC

模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）

流量、壓力、溫度、Mac ID，通訊功能等通過MFC本體可顯示

超快的響應(yīng)時間（≤0.5sec ) 。

在MARU系列中精度高(≤0.5% of S.P.)。

表面電拋光處理,耐腐蝕性強。