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半導體CVD氣體質量流量控制器 MARU 7000 PI

單價: ¥10000.00    元 / 件

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品牌 : chinacryo
銷量 : 累計出售 0
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-郫縣
有效期至 : 長期有效
數(shù)量 : 減少 增加件 庫存10000件
更新 : 2021-12-13
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公司基本資料信息
 
  半導體CVD氣體質量流量控制器 MARU 7000 PI

半導體CVD氣體質量流量控制器 MARU 7000 PI是高性能的數(shù)字結構控制回路可以實時控制和診斷,通過表面電解拋光處理,具有優(yōu)良的耐腐蝕性;MARU 7000 PI是壓力控制器和數(shù)字控制回路的改善算法,速度、精度、重復性等功能提高,可適用于精密控制工藝的設備(如半導體MOCVD,ALD等)。

 

優(yōu)勢:

三星半導體認證MFC

供給壓力波動時也可以穩(wěn)定的控制流量

模擬與數(shù)字通訊都可用(Analog,RS485DeviceNet , EtherCAT

流量、壓力、溫度、Mac ID,通訊功能等通過MFC本體可顯示

EP拋光,劇透的耐腐蝕性