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高精度對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī) C-25XB型4英寸光刻機(jī)生產(chǎn)廠家

單價(jià): ¥210000.00    元 / 臺(tái)

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累計(jì)評(píng)價(jià)
品牌 : 興林真空
銷量 : 累計(jì)出售 0 臺(tái)
發(fā)貨地 : 四川省-成都市-成華區(qū)
有效期至 : 長(zhǎng)期有效
數(shù)量 : 減少 增加臺(tái) 庫存9999臺(tái)
更新 : 2022-07-13
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公司基本資料信息
 

 主要用途:

本機(jī)針對(duì)各大專院校、企業(yè)及科研單位。對(duì)光刻機(jī)使用特性研發(fā)的一種高精度的光刻機(jī),三層減震,組合式,拆卸方便。

它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn),適合硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如:砷化鉀、磷化銦的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

安裝環(huán)境:

(1) 建議室溫保持在25℃±2℃(77°F±3.6°F華氏)。

(2) 相對(duì)濕度不超過60%

(3) 振動(dòng),因?yàn)槠毓鈾C(jī)要求很高的對(duì)準(zhǔn)精度,故要求機(jī)器安裝在無振動(dòng)的地方,保持振幅不超過4μm。

(4) 凈化。房間的凈化也很重要,特別是生產(chǎn)線條很細(xì)的產(chǎn)品,希望房間凈化到100級(jí)。

對(duì)掩版的要求:

 該機(jī)對(duì)掩版厚度無要求而外形尺寸和不平整度都應(yīng)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。非標(biāo)版無法真空吸附,只能用壓片壓緊。