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使用、維護(hù)和保養(yǎng)說(shuō)明
1. 定期檢查：這樣做，可以使曝光機(jī)永遠(yuǎn)處于良好的工作狀態(tài)，并達(dá)到其好的工作性能。
（1）每日任務(wù)：
a. 測(cè)量成象表面的照度，通過光欄手輪調(diào)節(jié)照度，使之達(dá)到所希望的照度。同時(shí)進(jìn)行不均勻性調(diào)節(jié)。
b.檢查氣壓表：
△ 觀察進(jìn)氣壓是否≥0.3Mpa
△ 將氣浮壓力調(diào)到0.1Mpa
c.檢查真空表
不“吸片”和沒有進(jìn)行“真空吸版”情況下，“系統(tǒng)真空表”上的真空度≥－0.07Mpa左右，否則應(yīng)檢查管路系統(tǒng)，查明漏氣原因，并想法排除。
d. 清掃承片臺(tái)上平面，無(wú)油、無(wú)塵、無(wú)硅碴等，同時(shí)清掃承片臺(tái)上安裝的橡皮密著環(huán)，使之無(wú)硅碴等。
e . 清掃版夾盤上下兩平面，特別是上平面，不得有硅碴、灰塵等，按“吸版”按鈕，吸上版，用手檢查版應(yīng)牢牢吸住，觀察“系統(tǒng)真空表”，“吸版”和“解除吸版”，系統(tǒng)真空表指示值不應(yīng)有明顯變化。
2. 電器部分使用維護(hù)和保養(yǎng)說(shuō)明
C-25XA型掩膜曝光機(jī)電氣控制部分包括汞燈電路、曝光定時(shí)等幾部分。主要按鈕開關(guān)采用施耐德公司產(chǎn)品，輸出電磁閥全部采用日本SMC公司生產(chǎn)的電磁閥，使整機(jī)的可靠性大幅提高。
（1）總功率及電源
電氣控制部分總功率為＜1.5KW。
電源：真空泵電機(jī)單相220V，50HZ。
（2）汞燈電路
按下“汞燈電源”按鈕, 汞燈電源接通。
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